Мы все знаем, что существует множество характеристик мишени для распыления.у которого есть ойИдеальный диапазон применения.Tцелевые сорта, обычно используемые в разных отраслях, также различны, сегодня пойдем с ПекинРичмат вместе, чтобы узнать о отраслевой классификации целей распыления.
一、Определение материала мишени для распыления
Напыление является одной из основных технологий получения тонкопленочных материалов.Он использует ионы, генерируемые источником ионов, для формирования ионного пучка с высокой скоростью энергии за счет ускоренной агрегации в вакууме. Бомбардируемая твердая поверхность, ионы и атомы твердой поверхности обмениваются кинетической энергией, так что атомы на твердой поверхности покидают твердое тело и осаждаются на На поверхности подложки бомбардируемое твердое вещество является сырьем для изготовления осажденной пленки, известной как мишень для распыления.
二、Классификация материалов мишени для распыления в области применения
1、Полупроводниковая мишень
(1)Часто используемый материал:Обычными объектами в этой области являются тантал, медь, титан, алюминий, золото, никель и другие металлы с высокой температурой плавления.
(2)Применение:В основном используйте важные исходные данные интегральной схемы.
(3)Функциональные требования:Технические требования к чистоте, размеру и интеграции высоки.
2、Целевой материал для плоского отображения
(1)Часто используемый материал:Мишени, обычно используемые в этой области, включают алюминий/медь/молибден/никель/ниобий/кремний/хром и т. д.
(2)Применение:Этот вид целевого материала в основном используется в различных типах пленок большой площади для телевизоров и ноутбуков.。
(3)Функциональные требования:Высокие требования к чистоте, большой площади, однородности и так далее.
3、Мишени для солнечных батарей
(1)Часто используемый материал:Мишени из алюминия/меди/молибдена/хрома/ITO/Ta обычно используются в солнечных элементах.
(2)Применение:В основном используется в «оконных слоях», барьерных слоях, электродах и проводящей пленке и в других случаях.。
(3)Функциональные требования:Высокая квалификация, широкий спектр применения.
4、Целевой материал для хранения информации
(1)Часто используемый материал:Для хранения информации обычно используются целевые материалы из кобальта, никеля, ферросплава, хрома, теллура и селена.
(2)Применение:Целевой материал здесь в основном используется для заголовка, среднего и нижнего слоев компакт-диска и компакт-диска..
(3) Функциональные требования:Требуются высокая плотность хранения и высокая скорость передачи данных..
5、Целевой материал для модификации инструмента
(1)Часто используемый материал:Инструментальная модификация титана/циркония/решетки/хромоалюминиевого сплава и других целей.
(2)Использование:Обычно используется для улучшения внешнего вида..
(3)Функциональные требования:Высокие функциональные требования, длительный срок службы..
6、Целевые материалы для электронных устройств
(1)Часто используемый материал:Мишени из алюминиевого сплава/силицида обычно используются в электронных устройствах.
(2)Применение:Обычно используется для пленочных резисторов и конденсаторов..
(3)Функциональные требования:Малый размер, стабильность, низкий температурный коэффициент сопротивления.
Время публикации: 21 апреля 2022 г.