Вакуумное напыление при выборе целевых материалов для распыления в настоящее время является проблемой для людей, поскольку нанесение покрытия напылением, особенно развитие навыков нанесения покрытий магнетронным распылением, можно сказать, что любая информация может быть направлена на подготовку материала для тонких пленок. ионной бомбардировкой, поскольку распыление целевого материала в процессе нанесения покрытия на тип подложки оказывает важное влияние на качество напыляемой пленки. Поэтому требования к целевому материалу более строгие.Здесь мы узнаем о роли мишени для распыления в вакуумном нанесении покрытия вместе с редактором журнала Beijing Relaxation.
一、Принцип выбора и классификация целевого материала
При выборе целевого материала, помимо выбора самой пленки, следует также учитывать следующие проблемы:
Проблема 1. В соответствии с требованиями к использованию и характеристикам мембраны, целевой материал должен соответствовать техническим требованиям по чистоте, содержанию магазина, однородности компонентов, точности обработки и так далее.
Задача 2. Целевой материал должен иметь хорошую механическую прочность и химическую стабильность после формирования пленки;
Проблема 3. Необходимо, чтобы пленочный материал легко образовывал составную пленку с реакционным газом в качестве пленки реактивного напыления;
Задача 4. Необходимо сделать мишень и матрицу прочными, в противном случае следует использовать пленочный материал с хорошей адгезией к матрице, сначала напылить слой нижней пленки, а затем подготовить необходимый слой пленки;
Вопрос 5. Исходя из требований к характеристикам пленки, чем меньше разница между коэффициентом теплового расширения мишени и матрицы, тем лучше, чтобы уменьшить влияние термического напряжения напыляемой пленки;
Подготовка нескольких часто используемых мишеней
(1) цель кр
Хром как материал для напыления пленки не только легко сочетается с основным материалом, обладает высокой адгезией, но и пленка из хрома и оксида CrQ3, ее механические свойства, кислотостойкость и термическая стабильность лучше.
Пекинская высокотехнологичная компания Ruichi High-tech Co., Ltd. в основном занимается: титановой мишенью, циркониевой мишенью, алюминиевой мишенью, никелевой мишенью, хромовой мишенью, вольфрамовой мишенью, молибденовой мишенью, медной мишенью, кремниевой мишенью, ниобиевой мишенью, танталовой мишенью, титаново-кремниевым сплавом. мишень, мишень из титано-ниобиевого сплава, мишень из титано-вольфрамового сплава, мишень из титано-циркониевого сплава, мишень из никель-хромового сплава, мишень из кремнеземно-алюминиевого сплава, мишень из никель-ванадиевого сплава, мишень из тройного сплава хром-алюминий-кремний, Ti al si Целевой материал из тройного сплава, широко используемый в отделке / твердой поверхности и функциональном покрытии, архитектурном стекле, плоском дисплее / оптическом фотоэлектрическом устройстве, оптическом хранении, электронике, полиграфии и других профессиях.
Время публикации: 02 июня 2022 г.