Цель имеет широкий рынок, область применения и большое развитие в будущем.Чтобы помочь вам лучше понять функции цели, ниже инженер RSM кратко представит основные функциональные требования к цели.
Чистота: чистота является одним из основных функциональных показателей мишени, поскольку чистота мишени оказывает большое влияние на функцию пленки.Однако при практическом применении требования к чистоте мишени также различаются.Например, с быстрым развитием микроэлектронной промышленности размер кремниевой пластины увеличивается с 6 дюймов до 8 дюймов и до 12 дюймов, а ширина проводки уменьшается с 0,5 мкм до 0,25 мкм, 0,18 мкм или даже 0,13 мкм.Ранее 99,995% заданной чистоты могло соответствовать технологическим требованиям 0,35 мкм, в то время как для подготовки линий 0,18 мкм требовалось 99,999% или даже 99,9999% заданной чистоты.
Содержание примесей: примеси в целевых твердых частицах, а также кислород и пары воды в порах являются основными источниками загрязнения осаждаемых пленок.Мишени для разных целей предъявляют разные требования к разному содержанию примесей.Например, мишени из чистого алюминия и алюминиевых сплавов, используемые в полупроводниковой промышленности, предъявляют особые требования к содержанию щелочных металлов и радиоактивных элементов.
Плотность: чтобы уменьшить поры в целевом твердом веществе и улучшить функцию распыляемой пленки, мишень обычно должна иметь высокую плотность.Плотность мишени влияет не только на скорость распыления, но также на электрические и оптические функции пленки.Чем выше целевая плотность, тем лучше функция пленки.Кроме того, плотность и прочность мишени улучшаются, так что мишень может лучше воспринимать термическое напряжение в процессе распыления.Плотность также является одним из ключевых функциональных показателей мишени.
Время публикации: 20 мая 2022 г.