С развитием промышленных технологий качество мишеней, необходимых для промышленного производства, также становится все выше и выше, поскольку качество мишеней напрямую влияет на характеристики пленок магнетронного напыления.В настоящее время при покупке мишеней предприятия, как правило, предпочитают использовать для напыления покрытия мишени высокой плотности с однородной структурой состава, чтобы уменьшить многократное сшивание мишеней и повысить качество напыляемых покрытий. Следовательно, это требует от производителя мишени строгого соблюдения контролировать качество цели. Теперь пусть редактор ПекинаРичматпоможет вам понять, какие факторы влияют на качество цели.
1、Влияние параметров процесса на качество цели
Параметры процесса в основном включают давление холодного прессования, скорость нагнетания, скорость расформовки и другие параметры..Когда мишень подвергается холодному прессованию, давление напрямую влияет на качество заготовки мишени;Скорость нагнетания оказывает большое влияние на расслоение целевой заготовки, а исходное состояние, когда порошок равномерно засыпается в негативную форму, представляет собой рыхлое состояние, в котором имеется много пор и газов, а выделение газов занимает период время.
2、Влияние плесени на целевое качество
Форма также оказывает определенное влияние на формирование целевой заготовки.К основным влияющим факторам относятся качество поверхности внутренней стороны формы, зазор между пуансоном и полостью формы и т. д. Если зазор слишком велик, произойдет растекание порошка и утечка порошка, что приведет к снижению предельной плотности низкий уровень заготовки и проблемы с качеством, такие как падение кромки во время извлечения из формы.
3、Влияние влажности материала на качество мишени
Влага, содержащаяся в порошке целевого материала, эквивалентна эффекту смазки, и ее присутствие может уменьшить трение между частицами, что способствует эффективной передаче давления холодного прессования, а также способствует плавному скольжению и перегруппировка между частицами порошка.Однако, когда содержание воды слишком мало или слишком много, это повлияет на качество мишени.
Когда содержание воды в порошке ITO составляет менее 2%, вероятность проблем с качеством, таких как потеря кромки и расслоение целевого материала, будет значительно увеличена, когда другие условия, такие как давление холодного прессования и содержание связующего, одинаковы. Когда вода Содержание в порошке ITO составляет более 10%, при том же давлении холодного прессования, содержании связующего и других условиях, хотя частицы порошка легче скользят и перестраиваются, вода выводится изнутри формы, что вызывает проблему падения края вокруг заготовки целевого материала.Результаты показывают, что когда содержание воды в порошке составляет от 3% до 6%, качество заготовки эффективно контролируется.
4、Влияние содержания связующего на целевое качество
Количество введенного связующего оказывает большое влияние на качество целевого материала.Когда количество включения составляет менее 1%, целевая заготовка будет иметь очень серьезную проблему с качеством, в это время влияние связующего не проявляется, и оно мало влияет на улучшение прочности целевой заготовки. увеличение содержания связующего до 2% и 3%, прочность целевого материала повышается, а проблема качества целевого материала значительно снижается.Однако, когда связующее введено до 4%, хотя проблема качества холоднопрессованной заготовки целевого материала исчезает, целевой материал иногда расслаивается во время последующего процесса извлечения из формы.
Время публикации: 22 апреля 2022 г.