В настоящее время крупнейшие мировые производители мишеней для распыления используют два разных метода изготовления мишеней для распыления из алюминиевого сплава.Один из них — выбрать метод литья для изготовления слитка, а затем выполнить процесс литья.Другой изготовлен методом распыления. Пусть редактор Пекина поделится с вами информацией о процессе производства цели из титано-алюминиевого сплава, каков здравый смысл.
Что касается известных способов литья/литья, то при изготовлении мишени для распыления из алюминиевого сплава мишень для распыления из алюминиевого сплава часто подвергается сегрегации из-за добавления легирующих элементов, что приводит к плохому качеству напыленной пленки и микрочастиц. легко возникают на поверхности мишени для распыления, что также влияет на однородность свойств пленки; однако, если для изготовления мишени для распыления из алюминиевого сплава используется известный способ формования распылением, хотя вышеупомянутые связанные дефекты могут быть Если этого избежать, стоимость производства мишени для распыления будет значительно снижена, особенно при изготовлении некоторых мишеней для распыления, которые нелегко отлить и которые необходимо подвергать горячему прессованию, стоимость будет снижена за счет использования горячего прессования.
Чтобы сделать процесс изготовления мишени из титано-алюминиевого сплава проще и дешевле, здесь представлен метод изготовления мишени для распыления из алюминиевого сплава с помощью порошка, распыляемого воздухом.Его принцип заключается в том, что порошок материала мишени для распыления изготавливается методом воздушного распыления в соответствии с соотношением состава сплава, а затем порошок сплава просеивается для получения частиц порошка соответствующего размера.Наконец, порошок подвергается горячему прессованию в вакууме, чтобы получить мишень для распыления из алюминиевого сплава.
Этот метод изготовления брызговых мишеней из алюминиевых сплавов с помощью воздушно-распыленного порошка может быть использован для изготовления различных мишеней из алюминиевых сплавов (алюминий-хром, алюминий-кремний-медь, алюминий-титан и т. д.).Предпочтительными этапами реализации являются: поставка металлических материалов для изготовления мишеней из алюминиевого сплава и плавление их в расплав металла; затем расплавленный металл превращается в металлический порошок методом распыления воздуха;Наконец, металлический порошок формируется путем вакуумного горячего прессования для изготовления мишени для распыления из алюминиевого сплава, а в качестве поддерживающего газа вводится инертный газ.Этот метод может предотвратить сегрегацию данных и дефекты микрочастиц, а также быстрее и дешевле создавать высококачественные мишени для распыления.
Время публикации: 01 июня 2022 г.