Мишень из распыляемого титанового сплава и металлический титан состоят из титана, поэтому информация примерно одинакова, но разница между ними в основном заключается в том, что мишень из титанового сплава для распыления изготавливается из металлического титана несколькими способами, а титан встречается в природе как титановая руда. Цели из титанового сплава могут широко использоваться во многих профессиональных категориях. Теперь автор Beijing richmat суммировал несколько распространенных целей из титанового сплава с точки зрения использования ситуации, чтобы дать нам подробное представление.
一、Ti мишени для интегральных схем
Требования к распылению мишеней из титановых сплавов различаются для неинтегральных и интегральных схем.В целом, интегральные схемы предъявляют более высокие требования к данным покрытия, такие как более высокая чистота, меньший размер зерна и более точная точность шкалы. Чистота титановых мишеней в интегральных схемах превышает 99,995%, что выше, чем у неинтегрированных. схемы, указывающие на то, что различные виды использования титана целевые требования очень разные.
二、Ti мишень для плоского дисплея
Мишени из титанового сплава, используемые в плоских дисплеях, включают жидкокристаллические дисплеи, плазменные дисплеи, электролюминесцентные дисплеи и автоэмиссионные дисплеи. Тонкая пленка плоского дисплея формируется методом распыления. Al, Cu, Ti и Mo являются основными мишенями для распыления металлов для плоских панелей. дисплеи. Чистота мишеней из титанового сплава для плоских дисплеев обычно превышает 99,9%.
三、Ti мишени для декоративных материалов
Целевой материал из титанового сплава высокой чистоты обладает превосходной стойкостью к коррозии на воздухе, при длительном использовании на воздухе не меняет цвет, чтобы гарантировать, что первоначальный цвет титана и контакт с человеком не вызывает аллергии, а также другие отличные характеристики.Таким образом, титан высокой чистоты также можно использовать в качестве декоративных материалов, в последние годы, таких как браслеты, часы, очки и другие украшения, чистота титана достигла уровня 5N.
四、Ti мишени для систем сверхвысокого вакуума
Как химически активный металл, титан может реагировать со многими элементами и соединениями при высокой температуре.Мишень из титанового сплава высокой чистоты обладает высокой адсорбционной способностью для активных газов (таких как O2, N2, CO, CO2, водяной пар при температуре выше 650 ° C), а пленка Ti, испаряющаяся на стенках насоса, может образовывать поверхность с высокими адсорбционными характеристиками. .Это свойство делает Ti широко используемым в качестве геттера в системе экстракции газа сверхвысокого вакуума. Если его использовать для улучшения насоса, ионного насоса для распыления и т. Д., Он может снизить предельное рабочее давление ионного насоса для распыления до 10-9 Па.
Время публикации: 25 апреля 2022 г.