Вам понятны цели нанесения покрытия методом магнетронного распыления?Теперь давайте поделимся с вами здравым смыслом относительно мишени магнетронного распыления.
Мишень для напыления металла, мишень для напыления сплава, мишень для покрытия керамическим напылением, мишень для распыления боридной керамики, мишень для распыления карбидной керамики, мишень для распыления фторидной керамики, мишень для распыления нитридной керамики, оксидная керамическая мишень, селенидная керамическая мишень для распыления, мишень для распыления силицидной керамики, сульфид керамическая мишень для распыления, теллуридная керамическая мишень для распыления, другие керамические мишени, керамическая мишень из оксида кремния, легированного хромом (CR SiO), мишень из фосфида индия (INP), мишень из арсенида свинца (pbas), мишень из арсенида индия (InAs).
Цели строительства высокой чистоты и высокой плотности включают в себя:
Мишень для распыления (чистота: 99,9–99,999 %)
1. Металлическая мишень:
Цель: никель, Ni, цель по титану, Ti, цель по цинку, Zn, цель по хрому, Cr, цель по магнию, Mg, цель по ниобию, Nb, цель по олову, Sn, цель по алюминию, Al, цель по индию, в, цель по железу, Fe, циркониево-алюминиевая мишень, Zral, титано-алюминиевая мишень, TiAl, циркониевая мишень, Zr, алюминиево-кремниевая мишень, AlSi, кремниевая мишень, Si, медная мишень, Cu, танталовая мишень, t, a, германиевая мишень, Ge, серебряная мишень, Ag, мишень из кобальта, Co, мишень из золота, Au, мишень из гадолиния, Gd, мишень из лантана, La, мишень из иттрия, y, мишень из церия, CE, мишень из вольфрама, W, мишень из нержавеющей стали, мишень из никель-хрома NiCr, мишень из гафния, HF, молибден мишень, Mo, мишень из железа и никеля, FeNi, мишень из вольфрама, W и т. д.
2. Керамическая мишень
Мишень ITO, мишень из оксида магния, мишень из оксида железа, мишень из нитрида кремния, мишень из карбида кремния, мишень из нитрида титана, мишень из оксида хрома, мишень из оксида цинка, мишень из сульфида цинка, мишень из диоксида кремния, мишень из оксида кремния, мишень из оксида церия, мишень из диоксида циркония , мишень из пентоксида ниобия, мишень из диоксида титана, мишень из диоксида циркония, мишень из диоксида гафния, мишень из диборида титана, мишень из диборида циркония, мишень из триоксида вольфрама, мишень из триоксида алюминия, мишень из пентаоксида тантала, мишень из пентоксида ниобия, мишень из фторида магния, мишень из фторида иттрия, селенид цинка мишень, мишень из нитрида алюминия, мишень из нитрида кремния, мишень из нитрида бора, мишень из нитрида титана, мишень из карбида кремния, мишень из ниобата лития, мишень из титаната празеодима, мишень из титаната бария, мишень из титаната лантана, мишень из оксида никеля, мишень для распыления и т. д.
Время публикации: 23 мая 2022 г.