С ростом рыночного спроса постоянно обновляется все больше и больше типов мишеней для распыления.Некоторые из них знакомы, некоторые незнакомы клиентам.Теперь мы хотели бы поделиться с вами типами мишеней для магнетронного распыления.
Мишени для распыления бывают следующих типов: мишень для распыления металла, мишень для покрытия из сплава, мишень для керамического распыления, мишень для распыления боридной керамики, мишень для распыления карбидной керамики, мишень для распыления фторидной керамики, мишень для распыления нитридной керамики, мишень для распыления оксидной керамики, мишень для распыления селенидной керамики. , мишень для распыления силицидной керамики, мишень для распыления сульфидной керамики, мишень для распыления теллуридной керамики, другие керамические мишени, керамическая мишень из оксида кремния, легированного хромом (CR SiO), мишень из фосфида индия (INP), мишень из арсенида свинца (pbas), мишень из арсенида индия (InAs) ).
Магнетронное распыление обычно разделяют на два типа: распыление постоянным током и радиочастотное распыление.Принцип работы оборудования для распыления постоянным током прост, а скорость распыления металла также высока.Широко применяется радиочастотное распыление.Помимо распыления проводящих данных, он также может распылять непроводящие данные.В то же время мишень для распыления также выполняет реактивное распыление для подготовки данных о соединениях, таких как оксиды, нитриды и карбиды.Если радиочастота увеличится, это приведет к микроволновому плазменному распылению.В настоящее время широко используется метод микроволнового плазменного распыления с помощью электронного циклотронного резонанса (ЭЦР).
Время публикации: 18 мая 2022 г.