1、 Подготовка к распылению
Очень важно содержать вакуумную камеру, особенно систему напыления, в чистоте.Любой остаток, образовавшийся в результате смазочного масла, пыли и предыдущего покрытия, будет собирать водяной пар и другие загрязняющие вещества, что напрямую повлияет на степень вакуума и увеличит вероятность нарушения формирования пленки.Короткое замыкание или искрение в мишени, шероховатая поверхность пленки и чрезмерное содержание химических примесей часто вызваны загрязнением камеры распыления, распылительного пистолета и мишени.Для соблюдения характеристик состава покрытия необходимо очистить и высушить напыляемый газ (аргон или кислород).После того, как подложка установлена в камере напыления, необходимо удалить воздух для достижения вакуума, необходимого для процесса.Защитное покрытие в темной зоне, стенки полости и прилегающие поверхности также необходимо содержать в чистоте.При очистке вакуумной камеры мы рекомендуем использовать дробеструйную очистку стеклянными шарами для обработки пыльных деталей вместе со сжатым воздухом для удаления ранних остатков распыления вокруг камеры, а затем незаметно полировать внешнюю поверхность наждачной бумагой, пропитанной оксидом алюминия.После полировки марлевой бумаги ее очищают спиртом, ацетоном и деионизированной водой.Вместе они пропагандируют использование промышленного пылесоса для вспомогательной уборки.Мишени производства Gaozhan Metal упаковываются в полиэтиленовые пакеты с вакуумной запайкой.
Встроенный влагозащитный агент.При использовании мишени не прикасайтесь к мишени рукой.Примечание: при использовании мишени надевайте чистые и безворсовые перчатки для обслуживания.Никогда не прикасайтесь к цели непосредственно руками.
2. Очистка цели.
Целью очистки мишени является удаление пыли и грязи, которые могут находиться на поверхности мишени.
Металлическую мишень можно очистить в четыре этапа:
Первый шаг — протереть мягкой безворсовой тканью, смоченной ацетоном;
Второй шаг аналогичен первому: очистка спиртом;
Шаг 3: очистите деионизированной водой.После промывки деионизированной водой поместите мишень в духовку и высушите ее при температуре 100 ℃ в течение 30 минут.
Очистку оксидных и керамических мишеней следует производить «безворсовой тканью».
Четвертый шаг — промыть мишень аргоном под высоким давлением и низким содержанием водяного газа после удаления пыльной области, чтобы удалить все частицы примесей, которые могут образовывать дугу в системе распыления.
3、 Целевое устройство
В процессе установки мишени важными мерами предосторожности являются обеспечение хорошей теплопроводности между мишенью и охлаждающей стенкой распылительного пистолета.Если деформация охлаждающего стержня серьезная или деформация задней пластины серьезная, целевое устройство треснет или погнется, и это сильно повлияет на теплопроводность от задней мишени к мишени, что приведет к нарушению отвода тепла. в процессе распыления, и мишень треснет или промахнется
Чтобы обеспечить теплопроводность, между охлаждающей стенкой катода и мишенью можно проложить слой графитовой бумаги.Пожалуйста, обратите внимание на то, чтобы тщательно проверить и убедиться в плоскостности охлаждающей стенки распылительного пистолета, чтобы убедиться, что уплотнительное кольцо всегда находится на месте.
Поскольку чистота используемой охлаждающей воды и пыль, которая может возникнуть во время работы оборудования, будут откладываться в резервуаре катодной охлаждающей воды, необходимо проверить и очистить резервуар катодной охлаждающей воды при установке мишени, чтобы обеспечить плавность циркуляция охлаждающей воды и что входное и выходное отверстия не будут заблокированы.
Некоторые катоды планируются иметь небольшое пространство с анодом, поэтому при установке мишени необходимо следить за тем, чтобы между катодом и анодом не было прикосновения или проводника, иначе произойдет короткое замыкание.
Обратитесь к Руководству оператора оборудования для получения информации о том, как правильно управлять мишенью.Если в руководстве пользователя такой информации нет, попробуйте установить устройство в соответствии с соответствующими рекомендациями Gaozhan Metal.При затягивании целевого приспособления сначала затяните один болт вручную, а затем вручную затяните другой болт по диагонали.Повторяйте это до тех пор, пока все болты на устройстве не будут затянуты, а затем чем-нибудь затяните.
4. Проверка короткого замыкания и герметичности.
После завершения работы целевого устройства необходимо проверить короткозамыкание и герметичность всего катода,
Определить наличие короткого замыкания в катоде предлагается с помощью измерителя сопротивления.
Дискриминация по строкам.После подтверждения отсутствия короткого замыкания в катоде можно выполнить обнаружение утечек и ввести воду в катод, чтобы подтвердить наличие утечки воды.
5. Целевое предварительное распыление.
Предварительное распыление мишени предполагает распыление чистого аргона, которое может очистить поверхность мишени.Когда мишень предварительно распылена, рекомендуется медленно увеличивать мощность распыления, а скорость увеличения мощности керамической мишени составляет 1,5 Втч/см2.Скорость предварительного распыления металлической мишени может быть выше, чем у керамического блока мишени, а разумная скорость увеличения мощности составляет 1,5 Втч/см2.
В процессе предварительного напыления нам необходимо проверить искрение мишени.Время предварительного напыления обычно составляет около 10 минут.Если явления дуги нет, постоянно увеличивайте мощность распыления.
К установленной мощности.Согласно опыту, приемлемая высокая мощность распыления Z металлической мишени составляет
25 Вт/см2, 10 Вт/см2 для керамической мишени.Пожалуйста, обратитесь к основам настройки и опыту давления в вакуумной камере во время распыления в руководстве пользователя системы.Как правило, следует обеспечить, чтобы температура воды на выходе охлаждающей воды была ниже 35 ℃, но важно обеспечить эффективную работу системы циркуляции охлаждающей воды.
Быстрая циркуляция переохлажденной воды отводит тепло, что является важной гарантией обеспечения непрерывного распыления с высокой мощностью.Для металлических целей обычно рекомендуется, чтобы поток охлаждающей воды был
Давление воды 20 л/мин составляет около 5 г/мл;Для керамических мишеней обычно рекомендуется расход воды 30 л/мин и давление воды около 9 г/м.
6、 Целевое обслуживание
Чтобы предотвратить короткое замыкание и искрение, вызванные загрязнением полости в процессе напыления, необходимо поэтапно удалять напыления, скопившиеся в центре и по обеим сторонам дорожки напыления.
Это также помогает пользователям осуществлять непрерывное распыление с высокой плотностью мощности.
7. Целевое хранилище.
Мишени, поставляемые компанией Gaozhan Metal, упаковываются в двухслойные вакуумные полиэтиленовые пакеты.Мы выступаем за то, чтобы пользователи хранили мишени, будь то металлические или керамические, в вакуумной упаковке.В частности, объекты склеивания необходимо хранить в условиях вакуума, чтобы окисление связующего слоя не влияло на качество склеивания.Что касается упаковки металлических мишеней, мы выступаем за упаковку Z в чистые полиэтиленовые пакеты.
Время публикации: 13 мая 2022 г.