Цель имеет множество функций и широкое применение во многих областях.Новое оборудование для распыления почти использует мощные магниты для скручивания электронов для ускорения ионизации аргона вокруг мишени, что увеличивает вероятность столкновения между мишенью и ионами аргона.
Увеличьте скорость распыления.Обычно распыление постоянным током используется для нанесения металлических покрытий, а распыление с радиочастотной связью используется для непроводящих керамических магнитных материалов.Основной принцип заключается в использовании тлеющего разряда для удара ионов аргона (AR) по поверхности мишени в вакууме, при этом катионы в плазме ускоряются и устремляются к поверхности отрицательного электрода в виде разбрызгиваемого материала.В результате этого удара материал мишени вылетит и отложится на подложке, образуя пленку.
В целом можно выделить несколько особенностей пленочного покрытия методом напыления:
(1) Металл, сплав или изолятор можно превратить в тонкие пленки.
(2) При соответствующих условиях настройки пленка одного и того же состава может быть изготовлена из множества и неупорядоченных мишеней.
(3) Смесь или соединение целевого материала и молекул газа можно получить путем добавления кислорода или других активных газов в атмосферу разряда.
(4) Целевой входной ток и время распыления можно контролировать, что позволяет легко получить высокоточную толщину пленки.
(5) Это выгодно для производства других фильмов.
(6) На распыленные частицы почти не влияет сила тяжести, а мишень и подложка могут быть организованы свободно.
Время публикации: 24 мая 2022 г.