Тугоплавкие вольфрамовые металлы и вольфрамовые сплавы обладают преимуществами высокой температурной стабильности, высокой устойчивости к миграции электронов и высокого коэффициента эмиссии электронов.Мишени из вольфрама и вольфрамовых сплавов высокой чистоты в основном используются для изготовления затворных электродов, соединительных проводов, диффузионных барьерных слоев полупроводниковых интегральных схем.У них очень высокие требования к чистоте, содержанию примесных элементов, плотности, крупности и однородности зернистой структуры материалов.Рассмотрим факторы, влияющие на получение вольфрамовой мишени высокой чистоты.by Rich Special Material Co., Ltd..
I. Влияние температуры спекания
Процесс формирования вольфрамовой мишени-зародыша обычно осуществляется с помощью холодного изостатического давления.Вольфрамовое зерно вырастет во время спекания.Рост вольфрамового зерна заполнит зазор между границами кристалла, тем самым увеличивая плотность вольфрамовой мишени.С увеличением времени спекания рост плотности вольфрамовой мишени постепенно замедляется.Основная причина заключается в том, что качество вольфрамовой мишени не сильно изменилось после нескольких процессов спекания.Поскольку большая часть пустот на границе кристалла заполнена кристаллами вольфрама, общая скорость изменения размера вольфрамовой мишени очень мала после каждого процесса спекания, что приводит к ограничению пространства для увеличения плотности вольфрамовой мишени.По мере спекания пустоты заполняются крупными вольфрамовыми зернами, в результате чего получается более плотная мишень меньшего размера.
2. Эффектhсъесть время консервации
При той же температуре спекания компактность вольфрамового мишенного материала улучшается с увеличением времени спекания.С увеличением времени спекания размер зерна вольфрама увеличивается, а с увеличением времени спекания коэффициент роста размера зерна постепенно замедляется.Это показывает, что увеличение времени спекания также может улучшить характеристики вольфрамовой мишени.
3. Влияние роллинга на цель Pпроизводительность
Чтобы улучшить плотность вольфрамовых мишенных материалов и получить структуру обработки вольфрамовых мишенных материалов, необходимо проводить среднетемпературную прокатку вольфрамовых мишенных материалов ниже температуры рекристаллизации.Когда температура прокатки целевой заготовки высока, волокнистая структура целевой заготовки становится толще, тогда как структура целевой заготовки тоньше.Когда выход горячей прокатки превышает 95%.Хотя разница в структуре волокна, вызванная разным исходным зерном спекания или температурой прокатки, будет устранена, внутри мишени будет сформирована более однородная структура волокна, поэтому чем выше скорость обработки теплой прокатки, тем лучше производительность мишени.
Время публикации: 05 мая 2022 г.