Широкое использование мишенного материала в различных профессиях повышает спрос на мишенный материал.Следующее Мы будем кратко представить ты каковы основные функциональные требования цели, прыжкаинг чтобы помочь вам.
Чистота: Чистота является одним из основных функциональных показателей мишени, поскольку чистота мишени оказывает большое влияние на функцию пленки.Но на практике чистота целевого материала не одинакова.Например, с быстрым ростом профессии микроэлектроники размер кремниевой пластины увеличился с 6 дюймов, 8 дюймов до 12 дюймов, а ширина проводки уменьшилась с 0,5 мкм до 0,25 мкм, 0,18 мкм и даже 0,13 мкм.Как только 99,995% целевой чистоты может соответствовать технологическим требованиям 0,35UMIC.Для приготовления линии 0,18 мкм требуется чистота целевого материала 99,999% или даже 99,9999%.
Плотность: чтобы уменьшить пористость целевого твердого тела и улучшить функцию напыляемой пленки, мишень обычно должна иметь высокую плотность.Плотность мишени влияет не только на скорость распыления, но также на электрические и оптические свойства пленок.Чем выше плотность мишени, тем лучше функциональность пленки. Кроме того, были увеличены плотность и прочность материала мишени, чтобы он лучше выдерживал термическое напряжение во время распыления.Плотность также является одним из важных функциональных показателей целевых веществ.
Содержание примесей: примеси в целевом твердом веществе, а также кислород и водяной пар в порах являются основными источниками загрязнения накопленных пленок. Различные целевые материалы для разных целей предъявляют разные требования к разному содержанию примесей.Например, мишени из чистого алюминия и алюминиевых сплавов, используемые в полупроводниковой промышленности, предъявляют особые требования к содержанию щелочных металлов и радиоактивных элементов.
Время публикации: 6 июня 2022 г.