К напыляемым мишенным материалам предъявляются высокие требования во время использования не только к чистоте и размеру частиц, но также к однородности размера частиц.Эти высокие требования заставляют нас уделять больше внимания использованию материалов для распыления мишеней.
1. Подготовка к напылению
Очень важно поддерживать чистоту вакуумной камеры, особенно системы напыления.Смазочные материалы, пыль и любые остатки предыдущих покрытий могут накапливать загрязняющие вещества, такие как вода, что напрямую влияет на вакуум и увеличивает вероятность нарушения образования пленки.Короткие замыкания, искрение мишени, шероховатая пленкообразующая поверхность и чрезмерные химические примеси обычно возникают из-за нечистоты распылительных камер, пистолетов и мишеней.
Для сохранения композиционных характеристик покрытия распыляемый газ (аргон или кислород) должен быть чистым и сухим.После установки подложки в камеру напыления необходимо удалить воздух для достижения необходимого для процесса уровня вакуума.
2. Очистка мишени
Целью очистки мишени является удаление пыли и грязи, которые могут присутствовать на поверхности мишени.
3. Установка цели
Самое важное, на что следует обратить внимание в процессе установки мишенного материала, — это обеспечить хорошее тепловое соединение между мишенным материалом и охлаждающей стенкой распылительного пистолета.Если охлаждающая стенка или задняя пластина сильно деформированы, это может привести к растрескиванию или изгибу во время установки целевого материала.Передача тепла от задней мишени к материалу мишени будет сильно нарушена, что приведет к невозможности рассеивания тепла во время распыления, что в конечном итоге приведет к растрескиванию или отклонению материала мишени.
4. Проверка короткого замыкания и герметичности.
После установки материала мишени необходимо проверить замыкание и герметизацию всего катода.Для определения наличия короткого замыкания катода рекомендуется использовать омметр и мегаомметр.После подтверждения того, что катод не закорочен, можно выполнить обнаружение утечки путем впрыскивания воды в катод, чтобы определить, есть ли утечка.
5. Предварительное распыление целевого материала.
Для предварительного распыления целевого материала рекомендуется использовать чистый аргон, который может очистить поверхность целевого материала.Рекомендуется медленно увеличивать мощность распыления во время процесса предварительного распыления целевого материала.Мощность керамического целевого материала
Время публикации: 19 октября 2023 г.