Ниобиевые мишенные материалы в основном используются в оптических покрытиях, покрытиях материалов для поверхностной инженерии и в таких отраслях, как термостойкость, коррозионная стойкость и высокая проводимость.В области оптического покрытия он в основном применяется в офтальмологических оптических изделиях, линзах, прецизионной оптике, покрытиях большой площади, 3D-покрытиях и других аспектах.
Материал ниобиевой мишени обычно называют голой мишенью.Сначала его приваривают к медной задней мишени, а затем напыляют для осаждения атомов ниобия в виде оксидов на материале подложки, получая напыленное покрытие.С непрерывным углублением и расширением технологии и применения ниобиевых мишеней требования к однородности микроструктуры ниобиевой мишени возросли, что в основном проявляется в трех аспектах: измельчение размера зерна, отсутствие явной ориентации текстуры и повышение химической чистоты.
Равномерное распределение микроструктуры и свойств по всей мишени имеет решающее значение для обеспечения эффективности распыления ниобиевых мишенных материалов.Поверхность ниобиевых мишеней, встречающихся в промышленном производстве, обычно имеет регулярный рисунок, который сильно влияет на эффективность распыления мишеней.Как мы можем улучшить коэффициент использования целевых показателей?
В результате исследований было обнаружено, что содержание примесей (целевая чистота) является важным фактором, влияющим на чистоту.Химический состав сырья неравномерен, примеси обогащены.После последующей обработки прокаткой на поверхности ниобиевой мишени формируются регулярные узоры;Устранение неравномерности распределения компонентов сырья и обогащения примесями позволяет избежать образования регулярных узоров на поверхности ниобиевых мишеней.Влияние размера зерна и структурного состава на целевой материал может быть практически незначительным.
Время публикации: 19 июня 2023 г.