В целях поддержки производства пленочных пьезоэлектрических МЭМС (pMEMS) датчиков и компонентов радиочастотных (РЧ) фильтров, алюминиево-скандиевый сплав, производимый компанией Rich Special Material Co., Ltd., специально используется для реактивного осаждения пленок нитрида алюминия, легированного скандием. .Э...
Читать далее