У многих друзей по поводу обслуживания мишени есть более или менее вопросы, в последнее время также много клиентов консультируются по поводу обслуживания проблем, связанных с мишенью, позвольте редактору RSM поделиться с нами знаниями о техническом обслуживании мишени распыления.
Как следует поддерживать мишени распыления?
1、 Целевое обслуживание
Чтобы избежать короткого замыкания и образования дуги, вызванных загрязнением полости в процессе распыления, необходимо периодически удалять распыленные частицы, скопившиеся в середине и по обеим сторонам дорожки распыления, что также помогает пользователям непрерывно распылять с высокой плотностью мощности.
2、 Целевое хранилище
Мы рекомендуем пользователям хранить мишень (металлическую или керамическую) в вакуумной упаковке, особенно мишень для фитинга должна храниться в вакууме, чтобы окисление фурнитурного слоя не влияло на качество фитинга.Что касается упаковки металлических мишеней, мы предлагаем упаковывать их как минимум в чистые полиэтиленовые пакеты.
3. Очистка цели.
Первый шаг — протереть мягкой безворсовой тканью, смоченной ацетоном;
Второй шаг аналогичен первому: очистка спиртом;
Шаг 3: очистите деионизированной водой.После очистки деионизированной водой мишень помещают в печь и сушат при температуре 100 ℃ в течение 30 минут.Для очистки оксидных и керамических объектов рекомендуется использовать «безворсовую ткань».
Четвертый этап — промывка мишени аргоном под высоким давлением и низкой влажностью для удаления любых нечистых частиц, которые могут вызвать дугу в системе напыления.
4. Проверка короткого замыкания и герметичности.
После установки мишени необходимо проверить весь катод на замыкание и герметичность.Судить о наличии короткого замыкания в катоде рекомендуется с помощью измерителя сопротивления и мегомметра.После подтверждения отсутствия короткого замыкания в катоде можно провести проверку на утечку воды и ввести воду в катод, чтобы определить, есть ли утечка воды.
5. Упаковка и транспортировка.
Все мишени упакованы в полиэтиленовые вакуумные пакеты с влагозащитным составом.Внешняя упаковка обычно представляет собой деревянный ящик с противоударным слоем, защищающим цель и объединительную плату от повреждений во время транспортировки и хранения.
Время публикации: 15 июля 2022 г.