Напыленные молибденовые мишени широко используются в электронной промышленности, солнечных элементах, покрытиях для стекла и других областях благодаря присущим им преимуществам.С быстрым развитием современных технологий в области миниатюризации, интеграции, оцифровки и интеллекта использование молибденовых мишеней будет продолжать расти, а требования к их качеству также будут становиться все более высокими.Поэтому нам необходимо найти способы улучшить коэффициент использования молибденовых мишеней.Теперь редактор RSM представит всем несколько методов повышения коэффициента использования распыляемых молибденовых мишеней.
1. Добавьте электромагнитную катушку на обратной стороне.
Чтобы улучшить коэффициент использования распыленной молибденовой мишени, на обратной стороне планарной магнетронной мишени, распыляющей молибден, можно добавить электромагнитную катушку, а магнитное поле на поверхности молибденовой мишени можно увеличить за счет увеличения тока электромагнитная катушка, чтобы улучшить коэффициент использования молибденовой мишени.
2. Выберите материал трубчатой вращающейся мишени.
По сравнению с плоскими мишенями выбор трубчатой вращающейся мишени подчеркивает ее существенные преимущества.Как правило, коэффициент использования плоских мишеней составляет всего от 30% до 50%, тогда как коэффициент использования трубчатых вращающихся мишеней может достигать более 80%.Кроме того, при использовании вращающейся мишени магнетронного распыления с полой трубкой, поскольку мишень может все время вращаться вокруг узла фиксированного стержневого магнита, на ее поверхности не будет повторного осаждения, поэтому срок службы вращающейся мишени обычно увеличивается более чем в 5 раз. чем у плоской цели.
3. Заменить на новое оборудование для напыления.
Ключом к повышению коэффициента использования целевых материалов является полная замена напылительного оборудования.В процессе распыления молибденового мишенного материала около одной шестой распыляемых атомов оседает на стенке или кронштейне вакуумной камеры после воздействия ионов водорода, что увеличивает стоимость очистки вакуумного оборудования и время простоя.Таким образом, замена нового оборудования для распыления также может помочь повысить коэффициент использования мишеней из молибдена для распыления.
Время публикации: 24 мая 2023 г.