Цель имеет множество эффектов, а пространство для развития рынка велико.Это очень полезно во многих областях.Почти все новое оборудование для распыления использует мощные магниты для скручивания электронов для ускорения ионизации аргона вокруг мишени, что приводит к увеличению вероятности столкновения между мишенью и ионами аргона.Теперь давайте посмотрим на роль распыляемой мишени при вакуумном нанесении покрытия.
Улучшите скорость распыления.Обычно распыление постоянным током используется для нанесения металлических покрытий, а распыление радиочастотным током переменного тока используется для непроводящих керамических магнитных материалов.Фундаментальный принцип заключается в использовании тлеющего разряда для удара ионов аргона (AR) по поверхности мишени в вакууме, при этом катионы в плазме ускоряются и устремляются к поверхности отрицательного электрода в виде разбрызгиваемого материала.В результате этого удара материал мишени вылетит и отложится на подложке, образуя пленку.
Вообще говоря, пленочное покрытие методом напыления имеет несколько характеристик: (1) в пленку можно превратить металл, сплав или изолятор.
(2) При соответствующих условиях настройки пленка одного и того же состава может быть изготовлена из множества и неупорядоченных мишеней.
(3) Смесь или соединение целевого материала и молекул газа можно получить путем добавления кислорода или других активных газов в атмосферу разряда.
(4) Целевой входной ток и время распыления можно контролировать, что позволяет легко получить высокоточную толщину пленки.
(5) По сравнению с другими процессами он способствует производству однородных пленок большой площади.
(6) На распыляемые частицы практически не влияет сила тяжести, а положения мишени и подложки можно регулировать свободно.
Время публикации: 17 мая 2022 г.