Все мы знаем, что напыление – одна из основных технологий приготовления пленочных материалов.Он использует ионы, производимые источником ионов, для ускорения агрегации в вакууме с образованием высокоскоростного ионного пучка, бомбардировки поверхности твердого тела, а ионы обмениваются кинетической энергией с атомами на твердой поверхности, так что атомы на твердой поверхности поверхность оставляет твердое вещество и осаждается на поверхности подложки.Бомбардируемое твердое вещество является сырьем для нанесения пленки путем распыления, которое называется мишенью для распыления.
Различные типы напыленных пленочных материалов широко используются в полупроводниковых интегральных схемах, носителях информации, плоских дисплеях, покрытиях поверхностей инструментов и кристаллов и так далее.
Мишени для распыления в основном используются в электронной и информационной промышленности, например, в интегральных схемах, хранилищах информации, жидкокристаллических дисплеях, лазерных запоминающих устройствах, электронном оборудовании управления и т. д.;Его также можно использовать в области покрытия стекла;Его также можно использовать в износостойких материалах, устойчивых к высокотемпературной коррозии, высококачественных декоративных изделиях и других отраслях промышленности.
Существует много видов мишеней распыления и разные методы классификации мишеней:
По составу его можно разделить на металлическую мишень, мишень из сплава и мишень из керамического соединения.
По форме его можно разделить на длинную мишень, квадратную мишень и круглую мишень.
Его можно разделить на микроэлектронную мишень, мишень для магнитной записи, мишень для оптического диска, мишень из драгоценного металла, мишень сопротивления пленки, мишень проводящей пленки, мишень модификации поверхности, мишень маски, мишень декоративного слоя, мишень электрода и другие цели в зависимости от области применения.
В соответствии с различными приложениями его можно разделить на керамические мишени, связанные с полупроводниками, керамические мишени с записывающей средой, керамические мишени для отображения, сверхпроводящие керамические мишени и керамические мишени с гигантским магнитосопротивлением.
Время публикации: 29 июля 2022 г.