1. Метод магнетронного распыления:
Магнетронное распыление можно разделить на распыление постоянным током, среднечастотное распыление и радиочастотное распыление.
А. Источник питания для распыления постоянным током дешев, а плотность наносимой пленки низкая.Как правило, отечественные фототермические и тонкопленочные батареи используются с низкой энергией, а мишенью для распыления является проводящая металлическая мишень.
B. Энергия радиочастотного распыления высока, а мишень для распыления может быть непроводящей или проводящей мишенью.
C. Мишенью для среднечастотного распыления может быть керамическая или металлическая мишень.
2. Классификация и применение мишеней распыления.
Существует много видов мишеней распыления, и методы классификации мишеней также различаются.По форме они делятся на длинную мишень, квадратную мишень и круглую мишень;По составу его можно разделить на металлическую мишень, мишень из сплава и мишень из керамического соединения;В соответствии с различными областями применения его можно разделить на керамические мишени, связанные с полупроводниками, керамические мишени для носителей записи, керамические мишени для отображения и т. д. Мишени для распыления в основном используются в электронной и информационной отраслях, таких как индустрия хранения информации.В этой отрасли мишени для распыления используются для изготовления соответствующих тонкопленочных изделий (жесткий диск, магнитная головка, оптический диск и т. д.).В настоящий момент.С непрерывным развитием информационной индустрии спрос на керамические мишени для записи на рынке растет.Исследования и производство мишеней для носителей записи стали предметом пристального внимания.
Время публикации: 11 мая 2022 г.