В последние годы, с развитием технологии интегральных схем (ИС), соответствующие приложения интегральных схем получили быстрое развитие.Мишень для распыления алюминиевого сплава сверхвысокой чистоты в качестве вспомогательного материала при производстве металлических межсоединений интегральных схем стала горячей темой недавних отечественных исследований.Редактор RSM покажет нам характеристики распыляемой мишени из алюминиевого сплава высокой чистоты.
Для дальнейшего повышения эффективности распыления мишени магнетронного распыления и обеспечения качества осаждаемых пленок большое количество экспериментов показывает, что существуют определенные требования к составу, микроструктуре и ориентации зерен мишени для распыления из алюминиевого сплава сверхвысокой чистоты.
Размер зерна и ориентация зерен мишени оказывают большое влияние на приготовление и свойства пленок IC.Результаты показывают, что скорость осаждения снижается с увеличением размера зерна;Для распыляемой мишени того же состава скорость распыления мишени с малым размером зерна выше, чем скорость распыления мишени с большим размером зерна;Чем более однороден размер зерна мишени, тем более равномерным является распределение толщины осаждаемых пленок.
При использовании одного и того же инструмента для распыления и параметров процесса скорость распыления мишени из сплава Al Cu увеличивается с увеличением атомной плотности, но в целом она стабильна в определенном диапазоне.Влияние размера зерна на скорость распыления обусловлено изменением атомной плотности с изменением размера зерна;На скорость осаждения главным образом влияет ориентация зерен мишени из сплава Al Cu.На основе обеспечения доли кристаллических плоскостей (200) увеличение доли кристаллических плоскостей (111), (220) и (311) приведет к увеличению скорости осаждения.
Размер и ориентация зерен мишеней из алюминиевых сплавов сверхвысокой чистоты в основном регулируются и контролируются путем гомогенизации слитков, горячей обработки и рекристаллизационного отжига.С развитием размеров пластин до 20,32 см (8 дюймов) и 30,48 см (12 дюймов) размер мишени также увеличивается, что выдвигает более высокие требования к мишеням для распыления из алюминиевых сплавов сверхвысокой чистоты.Чтобы обеспечить качество и выход пленки, параметры целевой обработки должны строго контролироваться, чтобы микроструктура мишени была однородной, а ориентация зерен должна иметь сильные плоские текстуры (200) и (220).
Время публикации: 30 июня 2022 г.