Технический консультант РСМ поделится с вами преимуществами цилиндрических и плоских магнетронных мишеней для распыления?По сравнению с другими мишенями магнетронного распыления, цилиндрические и плоские мишени магнетронного распыления сохраняют преимущества хорошей однородности покрытия прямоугольных плоских мишеней и могут максимизировать использование мишеней за счет следующих двух способов:
(1) Когда две группы (четыре) кольцевых ямок на поверхности мишени достигают определенной глубины, сердечник мишени (часть магнита) можно повернуть на 45 ° относительно целевой трубки, так что другие области на целевой трубке можно использовать не подвергшиеся коррозии;
(2) Когда сердечник мишени цилиндрической и плоской мишени магнетронного распыления выполнен в виде вращающегося сердечника мишени (сердечник мишени вращается во время распыления), поверхность мишени может распыляться равномерно слой за слоем без ямок.В это время мишень будет использоваться наиболее эффективно, и коэффициент использования мишени может достигать 50–60%. Когда материалом мишени является драгоценный металл, это, очевидно, имеет большое значение.
Используя принцип магнита с полюсным башмаком в коаксиальной цилиндрической мишени магнетронного распыления для решения проблемы концевого магнитного поля, прямоугольную плоскую мишень можно преобразовать в цилиндрическую и плоскую мишень магнетронного распыления. Мишень может максимизировать коэффициент использования мишени. сохраняя при этом хорошую однородность покрытия прямоугольной плоской мишени, чтобы повысить экономическую выгоду.
Время публикации: 04 июля 2022 г.